1. 腔尺寸:

• 直径，毫米- 700-1500

• 高度或长度，毫米- 800-1500

• 立式真空腔

2. 除了传统的抽气方式，采用低温冷冻及分子管泵 

3. 工艺设备可带上下旋转传动装置，带可换圆顶盖，行星式。

4. 工艺源: 

• 电子射线蒸发器

• 瓦斯离子源

• 带涂料计量器的电阻蒸发器

• 磁控管源

5. 设备控制及供电台规定使用英国、德国、日本、美国进口配套设备 

装置保证工艺过程自动化，所有特性在电脑显示屏显示。