1. 腔的数量 - 3 - 7 个

2. 底层尺寸:

宽度-3000 mm以内

长度-4000 mm以内

3. 磁控管数量- 2 - 7个

4. 离子源数量 - 1 - 3个

5. 周期时间 -  60秒起

6. 磁控管电源功率 - 10 - 70千瓦

标志:

1. 加热器

2, 3, 5, 7, 9. 腔

4. 离子源

6.8. 磁控管

10. 产品

11, 12. 供电台

13. 监控台

14. 预真空系统

15. 高度真空系统

16. 控制台

17. 闸

I - V. 腔