金刚石涂层真空设备 - DLC装置
金刚石涂层真空喷涂机利用等离子源进行金属、光学器材、合金喷涂。DLC设备可在低工作温度下对产品喷涂。DLC装置可借助电脑程序采用手动及自动工作模式。
真空镀膜设备组成:
1. 真空腔尺寸:
- 直径,毫米- 500-2000
- 高度或者长度,毫米- 500-2500
- 立式真空腔
2. 真空系统可利用各种抽气设备
3. 带电子打火及脉冲源电分离式等离子源
4. 带脉冲供电瓦斯离子源